エンジニアのための技術講座

ローコストオートメーション講座

掲載日:2006年01月20日

カテゴリ : クリーン化技術

第241回 クリーンルーム対応LCA−1

 国内製造業の高付加価値化へのシフトや、ppmオーダー以上の高品質が通常で要求される背景などから、コストパフォーマンスの高い、即ち低投資で高機能なクリーン化ニーズが非常に高まっています。同様に、各種グレードのクリーンルームで使用される設備や備品類のクリーン化対応も要求されています。

(1)クリーン化対応設計に必要な要素技術

 クリーン環境を作り出し維持するための原則は次の3つです。

1. コンタミネーションを持ち込まない
2. コンタミネーションを出さない
3. コンタミネーションを堆積させない

 それぞれの原則をLCA機構で形成させ、維持するための主な要素技術は次のようになります。

【表1】クリーン化三原則を構成する主な要素技術
クリーン化三原則要素技術解説
[1]
コンタミネーションを
持ち込まない
フィルタリング技術コンタミネーションをフィルタで除去
洗浄・パッケージング技術コンタミネーションを除去し持ち込むための梱包
気圧制御技術クリーン環境維持のためのマクロな気流制御
気流制御技術クリーン環境維持のためのミクロな気流制御
計測評価技術(共通)コンタミネーション量測定技術
気圧/気流測定技術
LCA設計技術(共通)LCA設計技術全般
[2]
コンタミネーションを
出さない
摩擦摩耗抑制技術
(潤滑技術)
可動する摺動部からの発塵量抑制技術
材料技術耐食材料、帯電位制御材料、密封材、他
パッケージング技術梱包
計測評価技術(共通)[1] に同じ
LCA設計技術(共通)[2] に同じ
[3]
コンタミネーションを
堆積させない
静電気制御技術静電気によるコンタミネーション堆積の抑制
気流制御技術浮遊によるコンタミネーション拡散の抑制
清掃(清浄化技術)堆積したコンタミネーションの除去
計測評価技術(共通)[1] に同じ
LCA設計技術(共通)[2] に同じ

 次回は、LCA装置のクリーン化技術の基本を解説します。

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