エンジニアのための技術講座

ローコストオートメーション講座

掲載日:2006年01月27日

カテゴリ : クリーン化技術

第242回 クリーンルーム対応LCA−2:クリーンルームの基本構造

(1)クリーンルームとは

 クリーンルームは、高性能エアーフィルタ(HEPAフィルタ、ULPAフィルタ)で空気中の浮遊微粒子を除去した空気を室内に供給されている室です。室内圧力を高く(正圧)することで、外部からの浮遊微粒子の侵入を防止します。

(2)クリーンルームの種類

 クリーンルームの種類は、気流の流れ方で分類すると、次の3つがあります(【図1】参照)。

クリーンルームの種類形式特徴
a)一方向流方式水平型、垂直型がある高品質のクリーンルーム用途
b)非一方向流方式乱流型、置換型がある中程度のクリーンルームでLCA用途に適す
c)混合方式a)とb)の混成形式高いコストパフォーマンスが得られ易い

図1

(3)局所クリーン化について

 クリーンルームの中でも、特に作業域は高い汚染制御が必要となるため、必要な空間を局所的に高いクリーン環境にする考えが局所クリーン化です。次の2種類が主な局所クリーン化の構成要素で、部屋全体をクリーン化する従来の考えに対し、必要な部分に必要なクリーン環境を実現させる思想です。

局所クリーン化の構成要素形式特徴
マイクロエンバイロメント
製品(シリコンウェハ基板など)のみを密封容器に入れて汚染防止し、移送などを行う
密封容器には、SMIF、POD、FOURなどがある
高品質の汚染防止に対応
ミニエンバイロメント
汚染に敏感な機器や作業域を隔壁でさえぎり部分的に汚染制御を行う
密封容器(マイクロエンバイロメント)とシステム化されて局所クリーン化環境を作り出す
クリーン環境と効率的生産活動を両立し易い方式

(4)標準的なクリーンルームの例

 標準的なクリーンルームの例を【図2】に示しました。クリーンルームは、そこで行う作業に対し高い汚染制御が出来るよう、入口側から順にクリーン度(清浄度)を良くしてゆきます。また、作業の種類別(作業域、設備設置域、メンテナンス域、通路、準備室、他)にレイアウト設計がされます。

図2

 次回は、クリーン化技術の基礎をなすクリーンルームの基本構造を解説します。

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