エンジニアのための技術講座

ローコストオートメーション講座

掲載日:2006年02月24日

カテゴリ : クリーン化技術

第246回 クリーンルーム対応LCA−6:クリーンルーム用LCAの周辺環境

 ここではクリーンルーム用LCAの周辺環境として、クリーンルーム用LCAの汚染制御の概念と、そこでの気圧/気流制御の狙いについて解説します。

(1)局所クリーン化技術とクリーンルーム用LCAの配置構成の関係

 クリーンルームの汚染制御の概念図として、【図1】シェル状汚染制御の概念図があります。この考えは高いクリーンが要求される場合のクリーンルーム構造(第243回【図2】参照)の概念図ですが、そのままLCA設備用局所クリーン化の設計の概念図としても適用できます。

図1

 クリーンルーム用LCAの配置構成は、次の2種類に大きく分類できるでしょう。

1. スタンドアロン型のLCA装置
2. プロセス型のLCAシステム(スタンドアロン型装置を工程順に連結させた複数台のシステム)

 この2種類のLCA形態は、次図のクリーンルーム用LCA汚染制御の概念を、単独または連結して利用することで対応可能と考えられます。

図2

(2)マクロな気圧制御とミクロな気流制御

■マクロな気圧制御とは

 簡易クリーンスポット型の簡易クリーンブースなど外壁が閉ざされた形式の場合、外部の気圧変動(ドアの開閉など)により大きな室圧変動が生じ、気流の逆流(流入)が起こり得ます。これを避けるために簡易クリーンブース側の室圧を高く(例:2〜15Pa程度)しておく必要があります。

■ミクロな気流制御とは

 簡易クリーンブース内のクリーンエアーの循環において小さな気流乱れで置換させるため、排気口の形状は排気の気流速度0.2m/s以上と成るように設計するのが好ましいとされています。

 次回は、クリーンルーム用LCA装置のユニット配置構成を解説します。

このサイトは、株式会社ミスミが運営・管理しています。

当サイト上のコンテンツの著作権は株式会社ミスミに帰属します。
無断利用・転載を発見した場合は、法的措置を取らせていただくことがあります。

ミスミのeカタログ

メカニカル部品 | ねじ・ボルト・座金・ナット | 工業用素材 | 配線部品 | 制御部品・PC部品
切削工具 | 生産加工用品 | 梱包・物流保管用品 | 安全保護・環境衛生・オフィス用品 | 研究開発・クリーンルーム用品
プレス金型部品 | プラ型用部品

ご利用にあたって  会社概要

ページトップに戻る