エンジニアのための技術講座

ローコストオートメーション講座

掲載日:2006年04月28日

カテゴリ : クリーン化技術

第254回 クリーンルーム対応LCA−14:クリーンルーム用搬送LCA

 クリーンルーム用搬送LCA機構を事例として、クリーンルーム対応LCA設計のポイントを復習します。

【写真1】はガラス基板の搬送機構です。左側(オレンジ色矢印)からガラス基板が搬送され、写真の装置上で位置決めを行い、搬送方向を90度変更させる移載ユニットです。
ガラス基板はこの間は暴露状態で搬送されるため、搬送経路の空間は局所クリーン化技術で高度のコンタミネーションフリーとなっています。
写真上部の長方形の開口を通過して、ウェットプロセスの処理を行います。

写真

■解説
NO.機能クリーンルーム用LCAのポイント補足
1.搬送プーリの回転機構カバー摺動機構部からの発塵を局所処理するカバー発塵の局所処理
気流制御
2.基板搬送力を基板に伝える
搬送力を基板にバランス良く伝える配置設計と材料選定
Oリングは黒:ニトリルゴム、摩擦力伝達
白:フッ素ゴム、基板支持
摩擦摩耗制御
材料技術
3.基板を取り込む開口
適正排気速度と基板変形に対する開口寸法余裕で開口寸法決まる
気流制御
4.基板の側面補助ガイド
摩耗しにくい材料
ダメージを与えない材料
材料技術
5.基板搬送力を基板に伝える
2.より5.では支持個数が少ないためOリングは全て黒:ニトリルゴムを装着
摩擦摩耗制御
材料技術
6.カバー
SUS装置カバー(防錆、発塵飛散防止)
材料技術
7.パンチングプレート
気流制御を要す部分のカバー
気流制御
8.幅寄せ機構(左右に移動)
基板近傍の摺動機構は基板の下部に配置
LCA設計技術
9.基板ガイド
搬送された基板を位置決めするガイド板
フッ素系樹脂:低摩擦係数、耐摩耗、耐薬品性
材料技術
10.機構部ベースプレート
防錆、加工性、軽量なAl材
材料技術
11.搬送機構(上下・回転)/カバー
搬送機構は上下移動しプーリ回転させて基板移送
カバー内部はポリウレタンベルトでAlプーリ回転伝達させることで発塵抑制
LCA設計技術

 次回から、最も使用頻度の高い機械部品「ねじ」について技術的な解説を予定します。

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